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> SOI在高压器件中的应用
SOI在高压器件中的应用
SOI在高压器件中的应用
资料类型:
PDF文件
关键词:
SOI
高压器
击穿电压
资料大小:
108K
所属学科:
分子表征
来源:
2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议(9.12-9.16,北京.秦皇岛)
简介:
综述了绝缘层上的硅(SOI)材料在高压器件中的应用,分析了SOI高压器件的不同结构,并对现在最常用的RESURFLDMOS高压器件结构,以及不同器件参数对击穿电压的影响进行了分析和讨论。
作者:
王石冶 刘卫丽 张苗 林成鲁 宋志棠
上传时间:
2007-07-13 16:00:25
下载次数:
620
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