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> 注入温度对Mn+注入p-GaN 薄膜的结构和磁性影响
注入温度对Mn+注入p-GaN 薄膜的结构和磁性影响
注入温度对Mn+注入p-GaN 薄膜的结构和磁性影响
资料类型:
PDF文件
关键词:
gan
离子注入
注入温度
磁性
资料大小:
241K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
在(0001)面的蓝宝石衬底上用低压MOCVD法生长p型GaN外延层。对p型GaN薄膜用180keV的Mn+离子注入进行磁性粒子掺杂,注入剂量保持为5.01015cm-2,但注入时p型GaN分别处于室温、300℃和500℃。对注入的样品在N2气流中进行快速热退火处理,温度为850℃、时间为30s。用超导量子干涉仪(SQUID)对样品的磁性进行了分析,室温下注入样品的磁响应较弱,未发现铁磁性;在300℃下注入的样品中发现有较强的铁磁性,更高的500℃的注入温度并不能进一步增强铁磁性。结合用X射线衍射(XRD)对不同注入温度样品的结构研究,揭示只有适当的注入温度(300℃)才有利于GaN晶格的恢复和铁磁性的产生。
作者:
石瑛,蒋昌忠,范湘军
上传时间:
2008-08-22 15:04:34
下载次数:
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